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요 약 이산화바나듐은 잘 알려진 금속-절연체 상전이 물질이며, 바나듐 레독스 흐름 전지는 대규모 에너지 저장장치로
활용하기 위해서 많은 연구가 이루어져왔다. 본 연구에서는 바나듐 옥사이드 (VOx) 박막을 리튬이온 이차전지의 양극으
로 적용하는 연구를 수행하였다. 이를 위해서 VOx 박막을 실리콘 웨이퍼 위에 열산화공정으로 300 nm 두께의 SiO2
층이 형성된 Si 기판 및 쿼츠 기판 위에 RF 마그네트론 스퍼터 시스템으로 60분 동안 500 oC에서 다른 RF 파워로
증착하였다. 증착된 VOx 박막의 표면형상을 전계방출 주사전자현미경으로 조사하였고, 결정학적 특성을 Raman 분광학
으로 분석하였다. 투과율 및 흡수율과 같은 광학적 특성은 자외선-가시광선 분광계로 조사하였다. Cu Foil 위에 증착된
VOx 박막을 리튬이온전지의 양극물질로 적용하여 CR2032 코인셀을 제작하였고, 전기화학적 특성을 조사하였다. 그
결과 증착된 VOx 박막은 RF 파워가 증가할수록 낟알 크기가 증가하였고, RF 파워 200 W 이상에서 증착된 박막은
VO2 상을 나타내었다. 증착된 VOx 박막의 투과율은 결정상에 따라 다른 값을 나타내었다. VOx 박막의 이차전지 특성은
높은 표면적을 가질수록, 결정상이 혼재될수록 높은 충방전 특성을 나타내었다.
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