|
박막형 리튬 이차전지의 cathode 물질로써 비정질의 산화바나듐 박막을 반응성 스퍼터링에 의하여 상온에서 증착하였다. 실험 변수로는 스퍼터링 중의 산소분압을 변화시키면서 설험을 수행하였다. 비정질의 산화바나듐 박막이 낮은 산소분압 (＜l5%)에서 얻어지는데 반해 높은 산소분압 (＞30%)에서 증착된 박막은 결정상이 됨을 알 수 있었다. 산화바나듐 박막의 전기화학적 특성을 분석하기 위하여 리튬 메탈을 anode로 하고 EC:DMC=1:1, 1M LiPF6 액체 전해질을 사용하여 정전류 충방전 시험을 수행하였다. 200회 상온 충 방전시험 후 전지용량은 비정질의 경우 60 ㎂h/㎠㎛, 결정상일 경우 38 ㎂h/㎠㎛의 큰 차이를 나타내었다. 이 결과는 산화바나듐 박막의 전지용량은 박막의 결정성에 매우 큰 영향을 받는다는 것을 보여준다.
|
|
